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全自动晶圆检测机CMM3005
  • 全自动晶圆检测机CMM3005
全自动晶圆检测机CMM3005
全自动晶圆检测机CMM3005
所属类别:AOI设备
产品简介:
晶圆AOI,主要用于晶圆表面缺陷检测。可检测类型包括 :灰尘、坏点、划伤、崩边等。具有自动除尘功能,可实现不良数据统计分析并上传到MES系统。
咨询热线:185-6650-1889
  • 机台型号 CMM3005
    最大检测精度 1μm
    可检测缺陷类型 划痕、异物、灰尘
    运动精度 X±0.01mm Y±0.01mm Z±0.01mm
    设备重量 1500KG
    设备尺寸 1385(L)*1105(W)*2250(H)mm
    产能(UPH) ≥2300
    防尘等级 10级
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