机台型号 CMM3000 金线可检测缺陷类型 重线、弯曲、短路、漏打线、错线、翘线。PAD点：Pad点偏移、缺失；Lead点：Lead点偏移、缺失 晶圆检测精度 1μm 晶圆可检测缺陷类型 划痕、异物、灰尘 运动精度 X±0.01mm Y±0.01mmZ±0.01mm 设备重量 1500KG 设备尺寸 1385（L）*1105（W）*2250（H）mm
产能（UPH） ≥2300 防尘等级 10级
| 机台型号 | CMM3000 |
| 金线可检测缺陷类型 | 重线、弯曲、短路、漏打线、错线、翘线。PAD点：Pad点偏移、缺失；Lead点：Lead点偏移、缺失 |
| 晶圆检测精度 | 1μm |
| 晶圆可检测缺陷类型 | 划痕、异物、灰尘 |
| 运动精度 | X±0.01mm Y±0.01mmZ±0.01mm |
| 设备重量 | 1500KG |
| 设备尺寸 |
1385（L）*1105（W）*2250（H）mm |
| 产能（UPH） | ≥2300 |
| 防尘等级 | 10级 |
