机台型号 WIM2000 晶圆检测精度 1μm 晶圆可检测缺陷类型 划痕、异物、灰尘、崩边 运动精度 X士0.01mm Y±0.01mm Z±0.01mm 设备重量 1700KG 设备尺寸 1778（L）*1428（W）*2250（H）mm
产能（UPH） ≥4600 防尘等级 10级 适用晶圆尺寸 8“、12”
| 机台型号 | WIM2000 |
| 晶圆检测精度 | 1μm |
| 晶圆可检测缺陷类型 | 划痕、异物、灰尘、崩边 |
| 运动精度 | X士0.01mm Y±0.01mm Z±0.01mm |
| 设备重量 | 1700KG |
| 设备尺寸 |
1778（L）*1428（W）*2250（H）mm |
| 产能（UPH） | ≥4600 |
| 防尘等级 | 10级 |
| 适用晶圆尺寸 | 8“、12” |
