机台型号 CMI-F2002 最高测量精度 3μm 运动精度 X±0.01mm Y±0.01mm Z±0.01mm 设备重量 1300KG 设备尺寸 1200（L）*1200（W）*2250（H）mm
产能（UPH） ≥1200 防尘等级 100级
| 机台型号 | CMI-F2002 |
| 最高测量精度 | 3μm |
| 运动精度 | X±0.01mm Y±0.01mm Z±0.01mm |
| 设备重量 | 1300KG |
| 设备尺寸 |
1200（L）*1200（W）*2250（H）mm |
| 产能（UPH） | ≥1200 |
| 防尘等级 | 100级 |
